潔凈室的溫度和濕度主要根據(jù)加工工藝要求確定。在滿足加工工藝要求的情況下，首選考慮人的舒適度。隨著空氣清潔度要求的提高，工藝對(duì)溫度和濕度的要求也越來越高，達(dá)到一定的溫度和濕度。例如，在大規(guī)模集成電路制造的光刻曝光過程中，玻璃和硅片熱膨脹系數(shù)之間的差異越來越小，作為掩膜板材料。直徑100um的硅片溫度上升1度，導(dǎo)致0.24um線性膨脹，所以有±0.1度的恒溫要求濕度值一樣低，因?yàn)槿顺龊购髸?huì)污染產(chǎn)品，尤其是鈉的半導(dǎo)體車間，不應(yīng)該超過25度。(潔凈工程)
濕度過高會(huì)導(dǎo)致許多問題。當(dāng)相對(duì)濕度超過55%時(shí)，冷卻水管的內(nèi)壁會(huì)結(jié)露。如果發(fā)生在精密設(shè)備或電路中，會(huì)引起各種事故。當(dāng)相對(duì)濕度為50%時(shí)，容易生銹。那么潔凈工程控制溫度和濕度的具體措施是什么呢？以下是德瑞鑫凈化列出的幾種控制濕度的方法。(潔凈工程)
對(duì)于大多數(shù)潔凈空間，為了避免外部污染，需要保持內(nèi)部壓力(負(fù)壓)高于外部壓力(負(fù)壓)。保持壓差一般應(yīng)符合以下原則:
1. 潔凈度不高的空間壓力遠(yuǎn)高于相鄰潔凈度不低的空間壓力。
2. 潔凈室工程之間的門應(yīng)該是4開到潔凈度不高的房間。
3. 上海風(fēng)淋室的清潔空間壓力遠(yuǎn)高于非潔凈空間。
壓差的維持取決于新風(fēng)量，這種新風(fēng)量應(yīng)該能夠補(bǔ)償這種壓差下從間隙泄漏的風(fēng)量。因此，壓差的物理意義在于通過潔凈室的各種縫隙時(shí)泄漏(或滲透)風(fēng)量的阻力。(凈化層)
對(duì)于亂流潔凈室，主要采用通風(fēng)次數(shù)的概念，不直接采用速度的概念，因?yàn)樗饕揽靠諝庀♂寔砭徑馐覂?nèi)污染。然而，對(duì)室內(nèi)氣流速度也有以下要求:
送風(fēng)口出口的氣流速度不宜過大，與單純的空調(diào)房相比，要求速度衰減更快，擴(kuò)散視角更大。
2.吹平面的氣流速度(如側(cè)送時(shí)的回流速度)不宜過大，以免吹起表面顆?；亓?，造成再污染。這個(gè)速度一般不應(yīng)該大于0.2。m/s。
